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CCU-010 紧凑式镀膜机

品 牌:safematic

产 地:

型 号:CCU-010

关键词标签:镀膜机;紧凑式镀膜机;低真空镀膜机;高真空镀膜机;CCU-010
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紧凑式 — 模块化 — 创新性
两种型号
CCU-010 镀膜机提供两种款型。CCU- 010 LV低真空镀膜机,CCU- 010 HV 高真空镀膜机。采用模块化概念,便于以后把低真空镀膜机转变为高真空镀膜机。
智能设备
不论您想要进行溅射金属、碳蒸发还是等离子处理,您只需更换工作头,就能完成各种应用。
没有不必要的停工期
设备基本上即开即用。通过把高质量的材料和部件与创新性的思路相结合,极大地缩短了工艺时间。采用自动模式,实现了稳定、均匀的薄层镀膜。
紧凑实用
尺寸小巧,节省了宝贵的空间。重量已经减至zui低。由于镀膜机统一使用标准化的真空接口,还能与第三方设备配套使用。
启用简单,服务方便

拆开包装,连接线路,直接启用!省去了高昂的启用成本。设备采用即插即用概念,您自己就能启用。您只需接通电源和工艺气体即可。
凭借一体式USB服务接口,服务技工可以在现场或者通过互联网远程进行快速错误分析。采用模块化配置,可以有指向性地更换有缺陷的部件。

 

亮点和特性:
·  一台设备完成溅射、碳蒸发和等离子处理(亲水/疏水)等多项工作。
·  使用直径54毫米、厚度zui多3毫米的靶材,可以快速、方便地更换。
·  长寿命靶材
·  采用磁控溅射工作头,实现了细颗粒溅射,适用于高分辨率FESEM应用领域。
·  可以进行氧化铟锡(ITO)溅射和碳溅射。
·  玻璃工作腔Φ120毫米(DIN 100 ISO-KF兼容),带内爆防护和安全监控。
·  自动靶材挡板
·  以电子方式调节工作真空度,带皮拉尼(Pirani)和冷阴极真空测量系统
·  自动阀门控制,用于控制两种工作气体和排气
·  靶材冷却,带温度监测
·  高度可调、可倾斜的圆形样品台(Φ80毫米)。样品台不需使用工具即可取下,便于清洗(喷砂处理)。
·  速度受控的旋转式或旋转行星式样品台,有多种样品支托选配件
·  采用双石英测量系统进行膜层厚度测量(小样品在中心测量,大样品在边缘测量)
·  整体式MD 1 Vario-SP隔膜泵(HV款型)
·  整体式Hi Pace 80涡轮泵(HV款型)
·  宽范围电源(90VAC - 260VAC))
·  5.7英寸TFT触摸式图形显示屏
·  直观易懂的用户软件,具备很多有用的功能
·  便于创建镀膜工序,保证了结果的再现性
·  可以存储/查看zui近十次操作
·  采用基于Windows的软件Coating LAB(镀膜实验室)对工艺数据进行图形化展示。
·  具备在断电情况下自动排气的功能。此功能可以防止系统受到前级泵油(LV款型)的污染。
·  USB接口,便于进行工艺分析和软件更新
·  统一接口,用于连接不同的工作头
·  工作头自动识别
·  6毫米乐克利(Legris)接口,用于连接两种工作气体和排气
·  法兰接口(DN 25 ISO-KF),用于连接外部前级泵(LV款型)
·  可以用作单纯的泵送装置
·  尺寸小,重量轻
·  瑞士品质

 

 

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