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反射膜厚仪-MProbe系列

品 牌:Semiconsoft

产 地:德国

型 号:MProbe系列

关键词标签:反射膜厚仪;膜厚测试仪;反射式膜厚仪;反射光谱干涉法;Semiconsoft;MProbe
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产品概述

当一束光入射到薄膜表面时,薄膜上表面和下表面的反射光会发生干涉,干涉的发生与薄膜厚度及光学常数等有关,反射光谱薄膜测厚仪就是基于此原理来测量薄膜厚度。

反射光谱干涉法是一种非接触式、无损的、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术。

测量范围: 1 nm - 1 mm

波长范围: 200 nm -8000 nm

光斑尺寸:2mum -3 um

 

产品特点:

a. 最高的测量精度:0.01nm或0.01%

b. 准确度:1nm或0.2%

c. 稳定性:0.02nm或0.02%

d. 强大的软件材料库,包含500多种材料的光学常数

e. 通过Modbus TCP或OPC协议,与其他设备联用

适用于实时在线测量,多层测量,非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石炭),聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

 

标准配置中包含:

1. 主机(光谱仪,光源,电线)

2. 反射光纤

3. 样品台及光纤适配器

4. TFCompanion软件

5. 校准套装

6. 测试样品,200nm晶圆

多种型号可选,每个型号对应不同的测量范围:

测量n和k值,其厚度范围需在25纳米和5微米之间

 

广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中:

半导体晶圆,薄膜太阳能电池,液晶平板,触摸屛,光学镀膜,聚合物薄膜等

半导体制造:· 光刻胶          · 氧化物        · 氮化物

光学镀膜:· 硬涂层          · 抗反射涂层         · 滤波片

生物医学:· 聚对二甲苯         · 生物膜厚度         · 硝化纤维

 

 

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